• 专利基本信息
  • 发明 2022107174460 一种单晶硅棒旋转提拉装置 2024

    已下证 电机 半导体材料加工 单晶硅 【电机 单晶硅】 1人

    C30B15/30 C30B29/06

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    • 12-05

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    • 专利摘要

    本发明公布了一种单晶硅棒旋转提拉装置,包括提拉杆、滑轨、旋转部件、提拉部件,提拉杆设有键槽,杆壁设有上轴承座和下轴承座;滑轨与上轴承座和下轴承座固定连接;旋转部件包括旋转电机、第一电机安装架以及齿轮,旋转电机输出端与齿轮之间连接有旋转驱动带;提拉部件包括第二电机安装架及提拉件和滑动件,第二电机安装架上设置有提拉电机,下轴承座上设置有下安装座,下安装座上设置有下齿轮辊轴,提拉电机设置有上齿轮辊轴,上齿轮辊轴与下齿轮辊轴之间通过提拉驱动带连接,提拉件与提拉驱动带固定连接,滑动件滑动的配置在滑轨上;本发明提出一种单晶硅棒旋转提拉装置,其目的是避免旋转提拉过程中导致晶棒晃动,改善晶体的径向均匀性。

    • 专利生命周期
    专利申请:2022-06-23
    授权缴费截止日:2024-07-01
    专利授权日:2024-08-20 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-12-24