免责声明：以上消息未经人工确认，本平台不担保其真实性和有效性，交易前请仔细核实。
本发明涉及干燥机技术领域，具体涉及一种转动拉升式晶圆干燥机，包括底座、立板、链轮组件、驱动件以及链条；所述固定机构包括转动臂、转盘以及固定座；所述固定座与链条固定连接；所述立板在链条的顶部设有止转板；所述立板在链条的底部设有旋转导板；所述底座设有水槽；所述水槽内设有喷气机构。本发明通过改变喷口构形，可以方便地对气流参数进行调节，保证干燥效果；通过转盘带动挂具机构在清洗过程中旋转，可以利用挂具机构对水流的搅动作用，提高清洗效果；在晶圆片提拉过程中，伴随挂具机构转动使得挂具机构的周向位置均可被气流覆盖，避免了干燥死角和积水点，提高干燥效果。
