• 专利基本信息
  • 发明 2018112086641 一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置

    未下证 1人

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    • 12-04

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    • 专利摘要

    本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置,其可以方便对多组单晶硅棒进行同时磨方处理,缩短耗时;可以方便控制滚磨与单晶硅棒之间的距离,减少磨方失误,减少资源的浪费;并且其可以方便控制单晶硅棒准确旋转90度;包括电机、传动轴和滚磨;还包括底座、四组支腿、两组支撑柱、顶板、底板、多组支撑杆、多组固定座和两组调节螺纹杆,两组调节螺纹杆底端分别设置有两组旋转板;还包括移动板、左移动轨道、右移动轨道、保护壳、两组连接轴、两组左滑轮、固定轴和右滑轮,保护壳右侧壁设置有挡盖;还包括多组齿轮、多组连接杆、多组固定板、压板、多组方形插杆和两组固定弹簧。

    • 专利生命周期
    专利申请:2018-10-17
    最近更新时间:2024-12-24