• 专利基本信息
  • 发明 2018110602585 一种晶圆流片生产用清洗装置 2024

    已下证 2人

    H01L21/67

    • 联系人列表
    • 12-16
    • 08-27

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    • 专利摘要

    本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片生产用清洗装置,其可方便对酒精进行使用,提高使用性;同时方便对清洗后掉落的脏物进行清理,降低劳动程度;且可无需手按晶圆流片进行固定,使清洗刷和清洗棉球能同时进行使用,提高清洗效率,增强使用效果;包括工作台、放置盒、放置架、清洗刷和多组清洗棉球;还包括按压泵,按压泵输出端位于放置架正上方;还包括盛放盒和支块,盛放盒顶端设置有盛放槽;还包括前支撑件和后支撑件,放置架包括左调节件、左固定件、左转动轴、右调节件、右固定件和右转动轴,左转动轴和右转动轴分别插入至左连接槽和右连接槽内部。

    • 专利生命周期
    专利申请:2018-09-12
    专利授权日:2024-03-12 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-12-24