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本实用新型提供一种PVT法生产碳化硅单晶设备，包括用于生产碳化硅单晶的碳化硅PVT炉主体、排气阀门以及出气管，碳化硅PVT炉主体左侧面上方安装有排气阀门，排气阀门左侧连接有出气管，出气管左侧设置气滤组件，气滤组件包括抽气滤筒、前滤板以及后滤圈，抽气滤筒内部右侧安装有前滤板，前滤板右表面贯通开设有多个滤气孔，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置出气管、传输管、气体传输泵以及输出管，能够便于抽取碳化硅PVT炉主体使用产生的热气，并将其传输至其他设备处以便于热气回收再利用，通过设置气滤组件，能够便于过滤抽气过程中热气中混合的杂质，防止杂质混合热气进入设备内影响设备的使用。
