• 专利基本信息
  • 实用 202323223660X 一种用于碳化硅晶体的退火载具 2024

    已下证 1人

    C30B33/02

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    • 专利摘要

    本实用新型提供一种用于碳化硅晶体的退火载具,包括:上盖、上隔网以及撑柱,所述上盖内侧设有上隔网,所述上隔网下端设有上螺纹柱,所述上螺纹柱下端外侧设有内螺槽,所述内螺槽外侧设有上连接座,所述上连接座下端设有透网,所述透网下端设有下连接座,所述下连接座内侧设有下螺槽,所述下螺槽内侧设有上螺纹柱,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:通过使用上螺纹柱以及内螺槽,能够使上盖与上连接座连接,通过使用上连接座、下连接座以及透网,能够提升整体强度,通过使用下螺纹柱以及下连接座内侧,能够使底座与下连接座连接,通过使用若干组撑柱,能够对碳化硅晶体进行支撑,并防止碳化硅晶体受热不均。

    • 专利生命周期
    专利申请:2023-11-24
    专利授权日:2024-09-13 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-12-24