• 专利基本信息
  • 实用 202323223734X 一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置 2024

    已下证 1人

    C30B33/02 C30B29/36

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    • 专利摘要

    本实用新型提供一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置,包括:上撑板、连接孔以及加热内衬,所述上撑板右侧内部设有连接孔,所述上撑板左侧设有支撑板,所述支撑板右侧设有红外检测头,所述支撑板下端设有底座,所述连接孔下端设有伸缩柱,所述伸缩柱下端设有上座,所述上座下侧设有放置槽,所述放置槽外侧设有下座,所述下座左右两侧均设有一组夹臂,所述夹臂外侧设有侧夹座,所述下座下端设有旋座,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:通过使用上撑板以及支撑板,能够对上座进行支撑,通过使用两组夹臂,能够对下座稳定性进行夹持,通过使用红外检测头,能够检测放置槽内部碳化硅晶体放置是否正确。

    • 专利生命周期
    专利申请:2023-11-24
    专利授权日:2024-09-03 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-12-25