• 专利基本信息
  • 发明 2017800000465 晶圆级芯片的封装方法及封装体 2019

    已下证 半导体制造 封装技术 芯片设计 1人

    H01L21/56 H01L21/78 H01L23/28 H01L23/48

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    • 12-05

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    • 专利摘要

    本申请的实施例公开了晶圆级芯片的封装方法及封装体,涉及半导体技术领域。所述方法包括:将晶圆片与支撑载体贴合;减小所述晶圆片的厚度;在所述晶圆片的背面蚀刻划片槽;在所述晶圆片的背面以及所述划片槽内粘附绝缘层;在所述绝缘层以及所述划片槽的底部添加金属层;去除所述划片槽的底部的所述金属层;在剩余的所述金属层上以及所述划片槽的底部粘附保护层;对所述保护层进行加工得到粘附孔,所述粘附孔的底部为外露的所述金属层;在所述粘附孔的底部的所述金属层上粘附锡球。本申请的实施例能够获得相对较薄的晶圆级芯片的封装体,增加了其机械结构强度,平衡了封装体积和封装强度的要求。

    • 专利生命周期
    专利申请:2017-01-22
    授权缴费截止日:2025-02-24
    专利授权日:2019-11-08 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-12-24