发明 2016102021548 一种Bi0.96Sr0.04Fe0.98-xMnxCo0.02O3多铁薄膜及其制备方法 2019
已下证 采用从液相沉积 铁电随机存储器 自旋电子器件 磁电存储单元 光电器件 2人
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本发明提供了一种Bi0.96Sr0.04Fe0.98‑xMnxCo0.02O3多铁薄膜及其制备方法。以硝酸盐和醋酸锰等为原料，乙二醇甲醚和醋酸酐为溶剂。在基片上采用旋涂法和逐层退火的工艺制备了Bi0.96Sr0.04Fe0.98‑xMnxCo0.02O3多铁薄膜。本发明采用溶胶－凝胶工艺，设备要求简单，适宜在大的表面和形状不规则的表面上制备薄膜，制备的薄膜均匀性较好，且化学组分精确可控。通过离子掺杂，有效地提高了薄膜的铁电和铁磁性能。该薄膜在最大测试电场为700kV/cm的电场下，剩余极化强度为102～170μC/cm2，矫顽场为290～463kV/cm；室温下，该薄膜的饱和磁化值为2.85～3.8emu/cm3，剩余磁化值为0.38～0.5emu/cm3。
