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本发明提供了一种尖晶石型四方相CuFe2O4铁磁性薄膜及其制备方法,将硝酸铜和硝酸铁按摩尔比为1:2溶于乙二醇甲醚和醋酸酐中,搅拌得到均匀的CuFe2O4前驱液,用旋涂法和逐层退火的工艺在基片上制备出致密度高、晶粒尺寸均匀的尖晶石型四方相CuFe2O4铁磁性薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺,设备要求简单,适宜在大的表面和形状不规则的表面上制备薄膜,且化学组分精确可控。本发明制得的尖晶石型四方相CuFe2O4铁磁性薄膜的饱和磁化强度Ms=110emu/cm3,剩余磁化强度Mr=71emu/cm3,矫顽Hc=810Oe。