发明 2016101876233 一种尖晶石型Co1-xMnxFe2O4铁磁性薄膜及其制备方法 2019
已下证 采用从液相沉积 铁电随机存储器 自旋电子器件 磁电存储单元 光电器件 2人
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本发明提供了一种尖晶石型Co1‑xMnxFe2O4铁磁性薄膜及其制备方法，包括以下步骤：将硝酸钴、醋酸锰和硝酸铁按摩尔比为1‑x:x:2(x＝0.1～0.5)溶于乙二醇甲醚和醋酸酐中，搅拌得到Co1‑xMnxFe2O4前驱液，用旋涂法和逐层退火的工艺在基片上制备出致密度高晶粒尺寸均匀的沿(311)晶面择优取向生长的尖晶石型Co1‑xMnxFe2O4铁磁性薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺，设备要求简单，实验条件容易达到，适宜大面积成膜，且化学组分精确可控，并且可通过Mn元素掺杂量对Co1‑xMnxFe2O4铁磁性薄膜的铁磁性能进行调控。
