免责声明：以上消息未经人工确认，本平台不担保其真实性和有效性，交易前请仔细核实。
本发明公开了一种半导体基板进料的自动搬运设备，包括立柱，所述立柱一侧设有横杆，所述横杆一侧设有第一弹簧，所述第一弹簧一端与横杆固定连接，所述第一弹簧另一端设有平衡板，所述平衡板一侧设有固定块，所述固定块一侧设有吸盘，所述吸盘两侧均设有第二弹簧，所述第二弹簧一端与吸盘固定连接，所述第二弹簧另一端与平衡板固定连接。本发明通过吸盘一侧设有第二弹簧，伸长电动伸缩杆，同时步进电机工作带动齿轮盘转动，齿轮盘转动带动连接件转动，连接件转动带动立柱往一侧运动，当立柱一侧吸盘接触到基板时，由于相互作用力的存在，吸盘往一侧运动带动第二弹簧压缩，第二弹簧恢复形变使吸盘表面紧贴在基板表面。
