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本发明提供了一种埋层外延超结二极管及其制作方法。所述埋层外延超结二极管的制作方法包括：在第一N型外延层形成P型埋层；在所述第一N型外延层表面制作第二N型外延层并形成沟槽；在所述第二N型外延层的沟槽进行P型注入并在所述第二N型外延层形成P型注入区；在所述第二N型外延层表面形成P型外延层，所述P型外延层与所述第二N型外延层的P型注入区相接触；通过退火激活所述第一N型外延层的P型埋层和所述第二N型外延层的P型注入区的注入离子，并且在退火之后所述P型注入区延伸到与P型埋层相接触。本发明提供的埋层外延超结二极管的制作方法工艺简单，可以有效降低器件的制造成本，并提高器件的性能。
