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本发明公开一种基于胶溶法配置溶胶的溶胶‑凝胶法制备Sm2O3薄膜的方法：1)将分析纯的SmCl3·6H2O溶解于去离子水中；用氨水溶液调节其pH并得到白色沉淀；2)对白色沉淀进行离心洗涤去除过多的Cl—和NH4+；3)用水将洗涤干净的白色沉淀水洗成悬浮液；用胶溶剂对悬浮液进行胶溶，调节pH至3～6，得淡蓝色透明溶胶；4)将洗净的玻璃基板或硅基板以匀速浸入溶胶并停留后匀速提拉出来进行干燥，干燥后再次镀膜，以此反复多次，将镀好的薄膜置入马弗炉中在300～500℃下煅烧1～3h得到Sm2O3薄膜。本发明方法设备要求低、工艺简单，且操作简便、能耗低、容易控制、安全性好。
