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一种ZnO/Sm2O3复合薄膜及其制备方法和应用,首先将Sm源、Zn源加入到乙二醇甲醚和醋酸酐的均匀溶液A中搅拌形成溶胶C;然后将溶胶C静置陈化,形成凝胶D;在采用旋涂法在基片上镀膜,经烘烤,得到干膜;再在所得干膜上,重复若干次旋涂镀膜、烘烤工艺,得到预设厚度的薄膜;最后经高温退火,得到ZnO/Sm2O3复合薄膜。本发明的ZnO/Sm2O3复合薄膜具有粒径分布较窄、分散性好、光催化性好、结晶性强及成本较低等特点,该制备方法设备要求低、工艺简单,且操作简便、能耗低、反应时间短,具有很好的工业化前景;复合薄膜具有较优的光催化形能,在光催化降解有机物等领域具有广泛的应用。