• 专利基本信息
  • 发明 2021112014607 一种自驱动光电探测器及其制备方法 2024

    已下证 光电探测 光纤通信 红外线感应 医学成像 军事侦查 2人

    H01L31/108 H01L31/0352 H01L31/0336 H01L31/18

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    • 12-04
    • 09-03

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    • 专利摘要

    本发明公开了一种自驱动光电探测器及其制备方法,该自驱动探测器通过在n型半导体层和p型石墨烯层之间并排设置一绝缘层和隧穿层,其中绝缘层的厚度大于隧穿层的厚度,绝缘层阻隔n型半导体层与石墨烯层的接触;n型半导体层与石墨烯层之间形成肖特基结构的空间电荷区,利于电子与空穴快速分离,同时隧穿层修复了n型半导体层与石墨烯层之间的缺陷,抑制漏电,提高光电流,第一电极设置于绝缘层上方的石墨烯层上,第二电极设置于n型半导体层上,电子与空穴最终在第一电极和第二电极处被收集。该自驱动光电探测器的暗电流低、响应速度快、开/关电流比高,不需要外加电源工作,综合性能好,并且器件结构简单,易于制造。

    • 专利生命周期
    专利申请:2021-10-15
    专利授权日:2024-08-09 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-12-24