发明 2017102539621 一种HoSrMnZn共掺铁酸铋/Mn掺铁酸锌复合薄膜及其制备方法 2019
已下证 功能材料 复合薄膜 半导体材料 磁性材料 （功能材料 2人
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本发明提供了一种HoSrMnZn共掺铁酸铋/Mn掺铁酸锌复合薄膜及其制备方法，该复合膜包括复合在一起的Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.95Mn0.03Zn0.02O3铁电膜和Zn1‑xMnxFe2O4磁性膜；先在基片上旋涂制备多层Zn1‑xMnxFe2O4磁性薄膜，然后在磁性薄膜上旋涂制备多层Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.95Mn0.03Zn0.02O3膜，得到该复合薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺，用多种元素掺杂对铁电膜晶体结构进行调控改善薄膜的铁电性能，提高铁电测试和漏电流测试的抗击穿性能，同时用强磁性尖晶石结构的Zn1‑xMnxFe2O4作为磁性层，获得优异磁电耦合性能的复合薄膜。
