发明 2018113173435 一种实时侦测钻石掉落的装置及其方法、研磨机 2020
已下证 【半导体技术 抛光垫】 3人
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本发明提供一种实时侦测钻石掉落的装置，其包括紫外光侦测器，所述紫外光侦测器包括紫外光发射器，其被配置为发射紫外光到抛光垫；以及光学传感器，其被配置为在接收到掉落到抛光垫上的钻石受到紫外光照射而发出的荧光时输出检测信号。本发明还提供一种包括实时侦测钻石掉落的装置的研磨机。本发明还提供一种实时侦测钻石掉落的方法，包括步骤：通过紫外光发射器发射紫外光到研磨机的抛光垫上；以及通过光学传感器进行检测，如果有钻石掉落到抛光垫上，所述光学传感器在接收到掉落的钻石受到紫外光照射而发出的荧光时输出检测信号。本发明能够及时有效地侦测到钻石掉落的情况，大大降低了晶圆缺陷风险，提高了产品良率。
