• 专利基本信息
  • 发明 2018110891636 一种具有电阻开关效应的BEFMO/ZnO复合异质结及其制备方法 2022

    已下证 3人

    H01L43/08 H01L43/10 H01L43/12

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    • 12-05
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    • 09-19

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    • 专利摘要

    本发明提供一种具有电阻开关效应的BEFMO/ZnO复合异质结及其制备方法,包括复合在一起的下层膜和上层膜;下层膜化学式为ZnO,六角纤锌矿结构;上层膜化学式为Bi0.9Er0.1Fe0.99Mn0.01O3,扭曲的菱方钙钛矿结构,空间群R3c。制备方法包括以下步骤:制备ZnO前驱液;在FTO/Glass基板上旋涂ZnO前驱液,烘烤,退火得到晶态ZnO薄膜;制备BEFMO前驱液,在晶态ZnO薄膜上旋涂BEFMO前驱液,烘烤,退火,即得到BEFMO/ZnO复合异质结。本发明所述的BEFMO/ZnO复合异质结表现出很好的电阻开关效应。

    • 专利生命周期
    专利申请:2018-09-18
    授权缴费截止日:2024-10-18
    专利授权日:2022-05-13 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-12-24