• 专利基本信息
  • 发明 2014102565444 一种电热管气相沉积方法 2016

    已下证 3人

    C03C17/00

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    • 12-05
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    • 08-26

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    • 专利摘要

    本发明公开了一种电热管气相沉积方法,首先,将高温炉的加热腔的温度加热至700℃~900℃,将石英玻璃管分别套接于固定杆上,并在固定杆头端套接耐热橡胶帽防止石英玻璃管从固定杆上滑出;其次,推动电机将转筒推入高温炉的加热腔内,启动电机使石英玻璃管绕转筒轴心旋转,之后开启高压喷枪的开关和高压气泵开关,然后启动控制曲柄滑块机构的电动机,加热时间为15min;最后,加热完成后,依次关闭高压喷枪开关、控制曲柄滑块机构的电动机以及电机,拉动电机将转筒拉出高温炉,取下石英玻璃管转移至冷却工位。本发明使石英玻璃管表面的电热膜溶液气相沉积生产效率更高,成本更低。

    • 专利生命周期
    专利申请:2014-06-10
    授权缴费截止日:2025-07-10
    专利授权日:2016-05-18 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-12-24