一种具有复合基板的薄膜电容器的制造方法-专速通专利交易平台

专利基本信息

发明 2013100659175 一种具有复合基板的薄膜电容器的制造方法 2016

已下证电介质层电极层电容器基板电介质层电极层电容器基板 3人

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本发明公开了一种具有复合基板的薄膜电容器的制造方法，该方法首先经过三次轧制和三次退火制得具有铜基板和镍基板结合在一起的复合基板，然后在该复合基板上沉积四方相锆钛酸铅PbZr1-xTixO3的电介质层，最后再在该电介质层上沉积电极层，从而形成所述具有复合基板的薄膜电容器。

专利申请：2013-03-01

授权缴费截止日：2025-04-01

专利授权日：2016-02-17 00:00:00.0

最近更新时间：2024-12-24

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