发明 2020107959109 双栅结构间接飞行时间器件、主动光电探测组件和光电系统【物体测量领域】 2024
已下证 光电子 测距传感器 无人驾驶 工业测绘 医疗 1人
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本发明涉及一种双栅结构间接飞行时间器件、主动光电探测组件和光电系统。双栅结构间接飞行时间器件包括一个或多个功能单元和衬底电极。每个功能单元包括衬底、光吸收层、两个探测电极、栅极氧化层、设置在栅极氧化层上的两个栅电极。光吸收层具有P型掺杂区、两个N型注入区和重掺杂P型区，探测电极覆盖部分N型注入区，栅极氧化层覆盖重掺杂P型区、另外部分N型注入区和P型掺杂区。主动光电探测组件包括前述双栅结构间接飞行时间器件及信号输出电路、读出电路和光源。光电系统包括具有前述主动光电探测组件的光收发机构、驱动电路、处理单元、计算单元和光学组件。本发明可以降低制造工艺难度和成本，提高器件制造良率。
