• 专利基本信息
  • 发明 2013106778163 一种多孔二氧化钛薄膜的制备方法 2016

    已下证 高校未变 3人

    C23C14/35 C23C14/08 C23C14/18 C23C14/02 C23F4/00

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    • 专利摘要

    本发明涉及一种多孔二氧化钛薄膜的制备方法,包括如下步骤:以空心玻璃微珠作为基体,以Cu-Zn或Cu-Mn合金作为靶材,磁控溅射设备沉积Cu-Zn或Cu-Mn合金薄膜;采用酸性或碱性溶液进行脱合金化处理,后进行去离子水清洗至中性,再真空干燥;干燥后包裹多孔铜的玻璃微珠,磁控溅射设备表面沉积二氧化钛,制备出多孔二氧化钛。本发明制备的多孔二氧化钛薄膜增大二氧化钛的表面积,在紫外光照射下有更好的催化性能,可以在废水处理、空气净化及光催化领域有更好的应用前景。

    • 专利生命周期
    专利申请:2013-12-13
    授权缴费截止日:2025-01-13
    专利授权日:2016-02-03 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-12-24