发明 2022102753293 一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器

未下证 2人

C23C16/458 C23C16/44 H01L21/687

发明 2021100112793 一种高端装备制造用半导体硅棒转运装置

未下证 1人

H01L21/677 H01L21/68 H01L21/687

发明 2019106408996 用于集成电路封装过程中的散热设备

已下证 2人

H01L21/67 H01L21/687 H01L21/603