• 专利基本信息
  • 发明 2020106579051 一种具有低阻N型电子通道的超结SOI-LDMOS器件

    未下证 半导体技术 功率半导体器件 电压控制 高压集成电路 微电子技术 1人

    H01L29/78 H01L29/06

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    • 12-04

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    • 专利摘要

    本发明涉及一种具有低阻N型电子通道的超结SOI-LDMOS器件,属于半导体技术领域。该器件包括源极接触区、栅源隔离氧化层、栅氧化层、栅极接触区、场氧化层、漏极接触区、源极P+区、源极、漏极、P-body、N型漂移区、埋氧层、衬底、低阻N型电子通道和超结区;低阻N型电子通道左边紧邻P-body右侧上部,右边靠近漏极的左侧,上方从左至右依次靠近栅氧化层下方的右侧部分和场氧化层的下方,下方与超结区接壤;超结区左侧紧邻P-body右侧下部,右侧紧邻N型漂移区,下方紧邻埋氧层。本发明在提高漂移区浓度,降低Ron,sp的同时,还能增加击穿电压。

    • 专利生命周期
    专利申请:2020-07-09
    最近更新时间:2024-12-24