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本发明公开了一种六氟化硫气体纯度检测装置，包括：第一气体检测装置，其沿气体流通方向设置有第一吸附柱，第一气体检测装置的进气口设置有第一气体流量计，进气口与第一吸附柱的进气的一端连接；第二气体检测装置，其沿气体流通方向设置有第二吸附柱，第二吸附柱的出气的一端设置有第二气体流量计；高温裂解炉，其与第二气体检测装置连接；第三气体检测装置，其与高温裂解炉连接，第三气体检测装置包括依次连接的气敏传感器、电性质检测设备和数据处理设备，气敏传感器具有在基材上镀有TiO2‑WO3复合氧化物薄膜形成的气敏层和非金属保护层。本发明具有准确全面排除干扰气体，检测精度高以及可实现在线监测的有益效果。
