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本发明涉及靶材侧边自动抛光技术领域，具体地说，涉及一种靶材侧边自动抛光装置及其使用方法。其包括加工支撑底座，加工支撑底座表面设有旋转移动导向组件，旋转移动导向组件用于为靶材抛光设置一个横向放置点，同时横向放置点安装有防偏移块，从而限制横向放置点和靶材的摩擦；旋转移动导向组件表面设有移动侧面抛光加工组件，移动侧面抛光加工组件用于对靶材侧面抛光；通过连接架转动时，会带动摩擦块沿着靶材侧面进行移动，摩擦块移动的过程中对靶材侧面的碎屑进行清理，从而提高抛光器的抛光质量，并且压制盘和摩擦块分别处于靶材侧面的四角处，对靶材横向移动进行限位，从而抵消抛光器加工时产生的推动力，使得靶材持续处于稳定状态。
