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本发明涉及一种硅基有机无机杂化太阳能电池及其制备方法，该方法包括以下步骤：在N型单晶硅片的上下表面形成多个平行排列且间隔设置的第一沟槽和第二沟槽，使得所述第一沟槽的底面与相应的所述第二沟槽的底面在垂直方向上的重叠部分的宽度与所述第一沟槽的底面的宽度的比值为0.5‑0.8；在所述N型单晶硅片的上表面、所述第一沟槽的底面以及侧面形成硅纳米线阵列；在所述N型单晶硅片的下表面的每个第二沟槽中形成N型重掺杂磷扩散区；在所述N型单晶硅片的上表面形成一致密的Spiro‑OMeTAD层、一复合PEDOT:PSS层以及正面栅电极；在所述N型单晶硅片的下表面制备背面电极。
