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本发明提供了一种光刻机小工件卡具，由升降旋转功能装置、光点定位功能装置、固定功能装置三部分组成。其特征在于：卡具的整体结构，从下往上分别是最底下的底座台，外空心柱和内部的内空心柱，最上面是透明材质的工件台。本发明技术有益效果在于对小型工件起固定、支撑、定位作用，使加工时的精确度更高；同时，还能够对工件进行加工的高度和位置进行调节，降低了加工难度；再有，能够对加工的位置进行精确定位，避免了二次加工因放置位置不准确而造成的加工误差，简化了加工操作步骤。
