• 专利基本信息
  • 发明 2018110396249 一种可调式芯片卡具的使用方法 2023

    已下证 芯片通用 光刻机 集成电路制造 微机电系统 微光学器件 3人

    G03F7/20

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    • 专利摘要

    本发明提供了一种可调式芯片卡具的使用方法,其特征包括以下步骤:第一步,准备;第二步,固定芯片;(a)若是大尺寸、矩形芯片,选择带有一对夹片横移动板和一对夹片纵移动板的载物夹片;(b)若是大尺寸、圆形芯片,选择带有弧形移动板、纵固定板、横固定板的载物夹片;(c)若是小尺寸、圆形或矩形芯片,选择带有弧形移动板、纵固定板、横固定板的载物夹片;第三步,固定加工台位置;第四步,加工芯片;第五步,完成。本发明的有益效果是,使用方法灵活,操作简便;即可对不同形状和尺寸大小的芯片加工工件实现固定,还能够精确进行三维坐标的调整;不仅缩短了操作时间,提高了效率,而且精确找准与准确读数也更加容易,确保了加工精密度。

    • 专利生命周期
    专利申请:2018-09-06
    授权缴费截止日:2025-10-08
    专利授权日:2023-06-06 00:00:00.0
    最近更新时间:2024-12-24