符合条件的4条专利数据 | 更新时间 | |
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发明 202111009384X 一种锡掺杂氧化铟纳米阵列及其制备方法 已下证 微电子 薄膜 半导体材料 导电材料 半导体微电子 3人 |
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发明 2018110396249 一种可调式芯片卡具的使用方法 已下证 芯片通用 光刻机 集成电路制造 微机电系统 微光学器件 3人 |
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发明 2018110396037 一种光刻机小工件卡具 已下证 光刻机 半导体芯片 集成电路 (光刻机 集成电路) 2人 |
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发明 2019107971269 一种光学邻近效应修正方法 已下证 半导体 (半导体) 2人 |