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实用 202323223734X 一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置

已下证 1人

C30B33/02 C30B29/36

实用 202323223660X 一种用于碳化硅晶体的退火载具

已下证 1人

C30B33/02