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实用 2023232236205 一种N型碳化硅单晶生长用坩埚

已下证 1人

C30B23/00 C30B29/36

实用 2023232657914 一种PVT法生产碳化硅单晶设备

已下证 1人

C30B23/00 C30B29/36 F27D17/00 B01D46/64 B01D46/10 B01D46/12