搜索到2件专利 批量导出勾选专利
符合条件的2条专利数据 更新时间

发明 2022102753293 一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器

未下证 2人

C23C16/458 C23C16/44 H01L21/687

发明 2021104850912 一种电容传感器及其制作方法

已下证 电容触控 电子设备设计 2人

G01D5/24 G01D11/00 G01D11/24 C23C16/44