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本实用新型属于气体发生装置技术领域，尤其为一种高精度渗透标准气体发生装置，包括渗透气体入口，渗透气体入口一侧设置有三通阀门，三通阀门一侧设置有加湿流量控制阀，加湿三通阀门，加湿三通阀门一侧设置有加湿装置，加湿三通阀门一侧连接有稀释气体流量控制器，三通阀门另一侧设置有渗透载气温控制装置，渗透载气温控制装置一侧设置有渗透室，渗透室内侧设置有渗透管，渗透室一侧设置有混合仓，渗透室另一侧设置有渗透流量控制器，混合仓一侧设置有气体出口。本实用新型通过设置加湿三通阀门、三通阀门、流量控制器、渗透载气温控制装置，可以达到方便生产不同浓湿、湿度与温度气湿，精准性高的目的。
