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公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺,该氩气充填工艺程序包括:关闭高真空阀后关闭扩散泵,若真空度1小时后高于10-2Pa,开启高真空阀,保持24小时后,关闭高真空阀,开始填充氩气至真空度为10Pa,保持6小时后继续填充氩气至真空度为1000Pa,保持6小时后即可打开长晶设备;若真空度1小时后低于10-2Pa时,开始填充氩气至真空度为9x10-1Pa后停止;保持12小时后,继续填充氩气至真空度为100Pa后停止;保持12小时后,继续填充氩气至真空度为1000Pa;保持六小时后填充氩气至大气压后打开长晶设备。利用本发明能减少晶体在后退火过程中的开裂,将后退火时间缩短12小时,提高了生产效率。