发明 2013104127153 一种超疏水的金字塔-硅纳米线复合陷光结构及其制备方法 2017
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一种超疏水的金字塔-硅纳米线复合陷光结构及其制备方法,属于太阳能电池领域。硅片表面的清洁,利用碱性刻蚀在其表面制备金字塔结构,利用化学反应还原原理在硅片表面沉积非连续的贵金属颗粒,利用贵金属颗粒作为催化剂刻蚀制备硅纳米线进而获得金字塔-硅纳米线复合双结构,利用氟硅烷对复合结构表面进行化学修饰获得超疏水性能。在可见光范围内,其表面反射率降低到4%以下,且经过表面化学修饰后,表面接触角大于150°。