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发明 2022102753293 一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器

未下证 2人

C23C16/458 C23C16/44 H01L21/687

实用 2021231336828 一种用于纳米涂层刀具镀膜加工的辅助定位装置(铣刀,数控刀具)

已下证 1人

C23C14/50 C23C16/458

实用 2023235775842 一种多色真空镀膜设备

已下证 真空镀膜 薄膜 工件镀膜 1人

C23C14/50 C23C16/458