实用 202323024217X 一种带防护机构的芯片裂片机
已下证 1人
B28D5/00 B28D7/04 B28D7/00 H01L21/67 H01L21/68
发明 202111581011X 一种基于半导体器件加工的制造装置
已下证 发明-半导体 1人
B28D5/04 B28D5/00