专速通
发布专利数据
搜索到1件专利 批量导出勾选专利
符合条件的1条专利数据 更新时间

发明 201810485537X 基于激光超声技术的硅基内部微结构成型的控制方法

已下证 微纳米 微机电 谐振器 半导体材料 （微纳米 2人

B23K26/55